​低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统研制

发布时间:2020/10/15 浏览次数:68

该系统是针对SPM的专业研究应用所研发的。采用自制杜瓦型低温恒温器,可获得5K的低温,制冷剂利用效率高。特殊设计的扫描探头结构紧凑、体积小巧,具有极好的机械和温度稳定性。兼容目前主流商业化样品架,可原位更换针尖、样品和沉积分子/原子。集成了基于tuning fork技术的AFM,可在STM和AFM两种模式下工作。

系统同时集成了专业的MBE腔体和独立的样品处理腔,具有液氮的冷屏和多达7个蒸发源安装位置,可以通过RHEED和LEED等手段监控生长。尚在研发中,主要技术指标待测。