​分子束外延(MBE)的风险辨识及管控措施

发布时间:2020/12/25 浏览次数:185

(1)窒息

MBE外延设备要在超高真空条件下工作,需要使用氮气源吹扫置换;喷射炉的炉口需使用液氮进行屏蔽。在现场设置氮气/液氮钢瓶或者通过管道输送氮气/液氮,如果氮气瓶安全附件不齐全或有缺陷,氮气/液氮管道的阀门、零件等腐蚀或存在缺陷,可能发生气瓶或管道的泄漏,如果作业场所通风不良,人员防护不当,会引发人员窒息事故。

(2)灼烫

MBE外延设备喷射炉的炉口需使用液氮进行屏蔽,在现场设置液氮钢瓶或者通过管道输送液氮,如果液氮钢瓶/液氮管道的阀门、零件等腐蚀或存在缺陷,可能发生气瓶或管道的泄漏,人员防护不当,发生低温灼烫事故。

MBE外延设备属于高温设备,如果设备本身未采取防护隔离措施,人员防护不当,可能发生灼烫事故。

(3)爆炸(含容器爆炸)

该工艺需使用冷却水进行设备保冷,如果冷却水供应不足,在高温下,可能发生设备爆炸。氮气源使用气瓶的情况下,气瓶安全附件不齐全、气瓶本体有缺陷、未设防倒设施等情况,可能造成气瓶爆炸。

(4)触电

直接接触裸露带电零件或在故障条件下变为带电的零件,尤其是绝缘失效而导致的带电零件,可能造成的电击、电灼伤等危险。