​蒸发镀膜可以采用的蒸发源有哪些类型?

发布时间:2023/09/05 浏览次数:126

蒸发镀膜是一种常用的薄膜制备技术,使用蒸发源将材料加热至蒸发温度,然后通过蒸发的材料沉积在基材表面形成薄膜。以下是几种常见的蒸发源类型:

电子束蒸发源:利用电子束将材料加热至蒸发温度,然后蒸发在基材上。电子束蒸发源具有高温度和高速度的优势,适用于多种材料的蒸发。

热阻蒸发源:通过通电使蒸发源中的阻焊丝加热,将材料蒸发在基材上。热阻蒸发源适用于多种材料,且操作相对简单。

溅射蒸发源:结合了溅射和蒸发的特点。利用离子轰击的方式将材料蒸发在基材上。溅射蒸发源适用于多种材料,且能够实现更高的薄膜均匀性和复杂的形状。

气体传输蒸发源:通过将材料置于高温的蒸发船中,利用气体载体将材料蒸发沉积在基材上。气体传输蒸发源适用于高熔点材料或对材料要求较高的应用。

这些蒸发源的选择取决于所需薄膜材料、薄膜性质要求、设备和工艺参数等因素。不同的蒸发源在材料选择、蒸发速率、均匀性等方面可能有不同的优劣势。