● 结构紧凑,集成水冷和挡板

● 蒸发源长度可定制

● 水冷水阻低(2 x 106Pa.s/L) ,能使用较低的循环水压,制冷效率高

● 本底真空低,1000°C背景真空优于1.3 X 10-10 mbar, 1200C背景真空优于4.5x 10-10 mbar

● 一体成型接口法兰,无焊接漏气风险,定位更准确

● 活动不掉落法兰,安装调整方便,防止刀口损坏

● 温度范围广:全系列覆盖室温~1800°C

● 特制耐氧蒸发源可以耐受高 氧气压力1 x10~3 mbar

● 可配置自动挡板和程序控制系统




MBE蒸发源(Knudsen Cell)