● 无差分泵Z方向旋转，确保在旋转过程中不漏气

● 样品可连续旋转，保证薄膜生长的均匀性;转动速度1-30 rpm可调

● Z轴运动低阻尼设计，使用更省力稳定

● 采用进口交叉滚珠导轨，运动平稳，保证每轴运动的直线度，无偏摆，俯仰

● 可选Z轴恒力弹簧，消除外界压力，使操作流畅

● 测微头驱动，定量读数，达到高的调整精度

五轴晶圆样品操作台（Wafer Manipulator）