●用于对真空规的校准

●低真空规管校准利用静态稳压比对法

●高真空规管校准利用动态比对法

●低真空校准标准规管采用MKS 690A高精度薄膜规，高真空校准标准规管采用MKS SRG-3转子规

●低真空校准室本底真空度优于1x 10-5Pa

●高真空校准室本底真空度优于5x 10-7 Pa

●烘烤前2小时内高真空腔室真空度达到10-5Pa,检漏仪检测漏率≤10-12 mbar .L . s-1

●烘烤24小时后，极限真空度可达5x 10-8Pa

●可扩展漏孔校准

●符合计量标准JJG729-1991 《二等 标准动态相对法真空装置检定规程》

●符合计量校准规范JJF 1062-1999《电离真空计》

●符合计量校准规范JJF 1050-1996《工作用热传导真空计校准规范》

●符合计量标准JJG 932-1998《压阻真空计检定规程》

●符合计量标准JJG 462-2004《二等标准电离真空计》

真空校准系统（Vacuum Gauge Calibration System）