通过程序方式控制MBE系统中的蒸发源和样品温度,shutter开关;记录真空、温度等实验数据。
● 可控制温度、气体流量、电机,读取温度和真空计
● 支持实验配方的编辑、预览、导入和导出
● 可对单独蒸发源进行控制,或对系统所有蒸发源进行控制
● 可针对不同蒸发源设定参数
● 数据库管理实验数据,可导出为通用格式
● 自动保存实验数据,防止断电后数据的丢失
分子束外延生长程控系统(MBE Controller)
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