简单经济的小型MBE设备,针对对本底真空需求不高的应用场景,可以快速的进出样品。适合分子蒸镀和简单的热蒸发。和热蒸发设备相比,其具有薄膜厚度控制更,蒸发源温度对衬底影响低,实验重复性好等特点。设备所有技术兼容超高真空需求,后期可以方便升级至超高真空MBE系统。

△ 可定制功能:

● 腔体结构、传样机构、泵组及其品牌型号

● 样品尺寸及其加热方式

蒸发源口径、温度、加热方式和数量

● 可扩展反射式高能电子衍射仪、红外测温仪、膜厚仪等

● 程序控制功能

● 腔体可做无磁处理


简易分子束外延生长系统(Easy MBE)