分子束外延生长(MBE )是一种在高真空或超高真空环境下,利用蒸发源加热而产生的蒸气,经小孔准直后形成的分子束或原子束,直接溅射到适当温度的基片,上,在目标样品表面形成高纯度薄膜的薄膜制备技术。MBE可在原子尺度上控制薄膜厚度和薄膜纯度(能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度)。广泛应用于:晶体生长、超晶格、金属、半导体、化合物、有机物薄膜制备、分子自组装等方面。

● 设计成熟,可扩展性强,操作简便,易学易用

● 可靠性好,能保证长时间稳定工作

● 系统功能可根据用户需求完全定制

● 独特的样品加热设计,样品温度可达1600℃


□ 可定制功能:

● 腔体结构、传样机构,泵组及其品牌型号

● 样品尺寸及其加热方式

● 样品操作台运动维度和行程

● 蒸发源口径、温度、加热方式和数量

● 进样和存样机构的样品数量

● 可扩展反射式高能电子衍射仪、红外测温仪、膜厚仪、气源等

● 程序控制功能

● 腔体可做无磁处理





分子束外延生长系统(MBE)